掃描電子顯微鏡SEM
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鎢燈絲掃描電子顯微鏡

新型Prisma E掃描電子顯微鏡(SEM)將各種成像和分析模式與新的先進自動化相結合,為同類產品提供最完整的解決方案。它非常適用于需要高分辨率,樣品靈活性和易于使用的操作界面的工業研發,質量控制和故障分析應用。Prisma E成功獲得了極為成功的Quanta SEM。

產品參數:

1    電子光學:

            1.1  發射源:鎢燈絲(高性能電子光學鏡筒,雙陽極熱發射電子槍)

            1.2  固定式物鏡光闌,無需手動調整使用方便

            1.3      加速電壓:200V – 30kV,自動256級偏壓設計

            1.4  放大倍數:6× - 1000000×

            1.5  極靴內有一路單獨抽真空系統,保證在低真空和環境模式下電子槍高真空和不受污染,延長燈絲壽命

            1.6  電子束束流:可達到的最大值不小于2μA,并連續可調

            1.7  使用工廠預對中燈絲更換方便

2    真空系統

            2.1  1個250 l/s分子渦輪泵+1個機械泵

            2.2  高真空模式:<1×10-5 Pa

            2.3  低真空模式:10 – 130 Pa

            2.4   環境真空模式:10 – 2600 Pa

            2.5   高真空模式下的換樣時間:≤150秒

            2.6   低真空及環境真空模式下的換樣時間:≤270秒

3    分辨率

            3.1  高真空模式下的分辨率

                  3.1.1    30 kV下3.0 nm (二次電子)

                  3.1.2     30 kV下3.5 nm (背散射電子)

                  3.1.3     3 kV下8.0 nm (二次電子)

           

           3.2  環境真空模式下的分辨率(以英文官方樣本公布的參數為準,并作為驗收指標)

                  3.2.1    30 kV下3.0 nm (二次電子)

                  3.2.2     具備獨立的環境真空/超低真空模式二次電子探頭

Prisma E材料科學SEM

對于需要全方位性能和易用性的多用戶實驗室而言,最完整的SEM。

新型Prisma E掃描電子顯微鏡(SEM)將各種成像和分析模式與新的先進自動化相結合,為同類產品提供最完整的解決方案。它非常適用于需要高分辨率,樣品靈活性和易于使用的操作界面的工業研發,質量控制和故障分析應用。Prisma E成功獲得了極為成功的Quanta SEM。

出色的成像

多用戶實驗室需要顯微鏡在短時間內生成具有相關數據的高質量圖像。Prisma E采用基于四極槍組件的強大成像系統滿足了這一需求,可在各種光束能量和真空條件下提供出色的結果。在所有這些條件下,地形圖和成像圖都提供了必要的樣本信息。通過同步采集,該信息可供隨后進一步解釋和分析。


電子光學:
1.1 發射源:鎢燈絲(高性能電子光學鏡筒,雙陽極熱發射電子槍)
1.2 固定式物鏡光闌,無需手動調整使用方便
*1.3 加速電壓:200V – 30kV,自動256級偏壓設計
1.4 放大倍數:6× - 1000000×
1.5 極靴內有一路單獨抽真空系統,保證在低真空和環境模式下電子槍高真空和不受污染,延長燈絲壽命
1.6 電子束束流:可達到的最大值不小于2μA,并連續可調
1.7 使用工廠預對中燈絲更換方便

真空系統
2.1 1個250 l/s分子渦輪泵+1個機械泵
2.2 高真空模式:<1×10-5 Pa
*2.3 低真空模式:10 – 130 Pa
*2.4 環境真空模式:10 – 2600 Pa
*2.5 高真空模式下的換樣時間:≤150秒
*2.6 低真空及環境真空模式下的換樣時間:≤270秒

分辨率
3.1 高真空模式下的分辨率
3.1.1 30 kV下3.0 nm (二次電子)
3.1.2 30 kV下4.0 nm (背散射電子)
*3.1.3 3 kV下8.0 nm (二次電子)

**3.2 環境真空模式下的分辨率(以英文官方樣本公布的參數為準,并作為驗收指標)
**3.2.1 30 kV下3.0 nm (二次電子)
3.2.2 具備獨立的環境真空/超低真空模式二次電子探頭

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