鍍層測厚/RoHS檢測儀
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毛細管系統鍍層測厚儀

日立高新使用新開發的X射線聚光用多毛細管的產品陣容誕生了。另外,以X射線檢測結構為中心,對各類元件進行最佳優化,從而大幅提高了檢測靈敏度,在不損失檢測精度的前提下實現了的高處理能力。并且,對設備進行了重新設計,使得樣本室的使用,以及對檢測點的檢查變得更為容易。

顯微領域的高精度檢測

 

通過采用新開發的多毛細管,以及對探測器的優化,在實現照射半徑等同于舊有型號FT9500X30 μm(設想FWHM 17 μm)的基礎上,進一步將處理能力提高到了2倍以上。

 

產品陣容適應各類檢測樣本

 

針對檢測樣本的不同種類,可在下列3種型號中進行選擇

測量引線架、連接器等各類電子元器件的微型部件、超薄薄膜的型號

能夠處理尺寸為600 mm×600 mm的大型印刷電路板的大型印刷電路板用型號

適合對陶瓷芯片電極部分中,過去難以同時測量的Sn/Ni兩層進行高能測量的型號

 

兼顧易操作性與安全性

 

放大了開口,同時樣本室的門也可單手輕松開閉。從而提高了取出、放入檢測樣本的操作簡便性,并且該密封結構也大大減少了X射線泄漏的風險,讓用戶放心使用。

 

檢測部位可見

 

通過設置大型觀察窗、修改部件布局,使得樣本室門在關閉狀態下亦可方便地觀察檢測部位。

 

清晰的樣本圖像

 

使用了分辨率比以往更高的樣本觀察攝像頭,采用全數碼變焦,從而消除位置偏差,可以清晰地觀察數十μm的微小樣本。

另外,亦采用LED作為樣本觀察燈,無需像以往的機型那樣對燈泡進行更換。

 

GUI

?將各類檢測方法、檢測樣本都以應用程序圖標的形式進行了登記。圖標皆為檢測樣本的照片、多層膜的圖示等,因此登記、整理起來就很方便,從而使得用戶可以不走彎路,直接進行檢測。

?使用檢測向導窗口來指導操作。通過與檢測畫面聯動,逐步引導用戶執行當前所需進行的工作。

 

FT150系列參數:

 

FT150

FT150L

FT150H

測量元素

ALZ13UZ92

ALZ13UZ92

ALZ13UZ92

X射線管

Mo靶材

W靶材

管電壓:45KV管電流:1mA以下

檢測器

Si半導體檢測器(SDD

照射徑

Ф30μm (FWHM:17μm)

Ф35μm (FWHM:20μm)

樣品觀察

CCD攝像頭

最大樣品尺寸

400mm×300mm×100mm

600mm×600mm×20mm

400mm×300mm×100mm

最大樣品重量

10Kg

應用程序

定性分析

薄膜檢量線(單層、2層、2成分合金單層膜)

薄膜FP法(最多可測量5層、10個元素)等

報告功能

Microsoft Word/Excel

電源

AC100-240V

儀器尺寸

930mm×900mm×710mm

1030mm×1200mm×710mm

930mm×900mm×710mm

儀器重量

160Kg

170Kg

160Kg

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